3D共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù)

3D共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)準(zhǔn)確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更準(zhǔn)確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

一個(gè)特殊改裝的固定工作臺(tái)可以承載大體積高重量的測試物體，結(jié)合一個(gè)可以自由移動(dòng)的滾輪式工作臺(tái)，μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個(gè)地方進(jìn)行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測量而開發(fā)。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測量，并且可以方便地架設(shè)在測試對(duì)象上--因?yàn)樗闹亓恐挥?公斤。根據(jù)不同測量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專業(yè)解決方案軟件的μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)可滿足了各種各樣的測量任務(wù)。

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